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euv光刻机原理极紫外曝光成像技术

euv光刻机原理是用极紫外光把芯片电路图形精确投射到硅片上，核心思路是“光源发光、反射镜传光、掩膜版带图、硅片受光、控制系统对准”，
2026年10月19日 15:14:49

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